在真空室中,金属表面改性的原理是高频电源在恒压下产生高能混沌等离子体。等离子体与表面碰撞。对已经清洗过的产品,达到清洗的目的。优点:(真空式精度和全面性)。【真空等离子体处理装置】表面等离子体-基本原理:表面等离子体场分布特性表面等离子体(SURFACE PLASMANS,SPS)是指存在于金属表面