(2)在真空破坏部分,大直径真空电磁阀的基础上添加CDA控制气体通道,和真空破坏气体输入过程后的真空室操作。由于真空断气通常为高纯度气体，添加荧光剂注塑后附着力低故在部分真空断气的气路中不设过滤器。(3)工艺气通常为高洁净气体，过滤器通常为可选部件。工艺气控制部分主要包括调压阀、过滤器、报警器、报警
