氩气是一种惰性气体，涂层附着力的4种测定方法电离后产生的离子体不会与基材发生化学反应，在等离子清洗中主要被应用于基材表面的物理清洗及表面粗化，最大的特点就是在表面清洗中不会造成精密电子器件的表面氧化。正因如此，氩等离子清洗机在半导体、微电子、晶圆制造等行业被广泛应用。2 辉光放电颜色氩气在真空等离子
