形成污染物 避免表面材料与泵发生反应。另一方面，材料的亲水性和憎水性用使用氩气时，易形成半稳定原子，与氧或氦分子碰撞时，发生电荷转换和再生。当键合时，氧和氢的活性原子起作用。在物体表面。等离子清洗机使用纯氢清洗表面氧化物，效率很高，但这里主要考虑放电的稳定性和安全性。使用等离子清洗机时，最好使用氩气
