正是由于晶圆清洗是半导体制造工艺中重要且频繁的一步,海口在线等离子清洗机其工艺质量将直接影响设备的良品率、功能和可靠性,因此国内外各大公司和研究机构对清洗工艺的研究不断进行。等离子清洗作为一种先进的干洗技能,具有绿色环保的特点。随着微电子工业的迅速发展,等离子体清洗机在半导体工业中的应用也越来越多。