2）将等离子体清洗用气体引入真空室内，测量漆膜附着力的方法保持室内压力稳定。根据清洗材料的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，通过辉光放电产生等离子体，使真空室内产生的等离子体完全覆盖待处理工件，开始清洗作业，清洗处理一
