微电子等离子体清洗机设备加工应用:微电子技术的发展结合了信息、通信和娱乐。利用等离子体技术实现了原子尺度制造，流水线等离子体蚀刻使微电子器件的小型化成为可能。20世纪90年代，等离子体技术进入微电子器件制造领域。下面将讨论等离子体清洗设备在芯材加工过程(如蚀刻、沉积和掺杂)中的应用。20世纪70年代
