在非热力学平衡的冷等离子体中，电子电路等离子体去胶电子具有很高的能量，可以破坏材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应性（热等离子体）。由于中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏聚合物的表面改性提供了合适的条件。氧等离子体表面处理对Ito薄膜的影响，电子电路等离子体清洗设备以提高Ito薄膜的电性能：
