这种设计灵活，油漆附着力等级 判定用户可以拆下搁板来配置合适的等待离子的蚀刻方式：反应等离子体(RIE)、下游等离子体和直接等离子体。所谓直接等离子体，又称反应离子刻蚀，是等离子体刻蚀的一种直接形式。其主要优点是刻蚀速率高，均匀性高。直接等离子体蚀刻低，但工件暴露在射线区。下游等离子体为弱过程，适用
