不同气体的等离子体具有不同的化学性质，油漆涂料附着力是划分的如氧等离子体具有高氧化性，可以氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有良好的各向异性，因此可以满足腐蚀的需要。当使用等离子体时，会发出辉光，因此称为辉光放电。等离子体清洗的机理主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化
