& EMSP; & EMSP; 等离子清洗是一种干洗方法，钢件发黑处理方法它使用气相化学去除材料表面的污染物。气相化学主要包括热氧化和等离子清洗。清洁过程是将热化学或等离子体反应气体引入反应室，与晶片表面发生化学反应，产生挥发性反应产物。它通过真空排出。 & EMSP; & EMSP; Plasma
