其中，氩气plasma去胶机物理反应机制是活性颗粒与待清洁表面碰撞，将污染物从ZUI中分离出来，最后被真空泵吸走。化学反应机理是各种活性颗粒与污染物的反应。它产生挥发性物质并用真空泵将它们吸走。产生性物质，达到清洁的目的。我们的工作气体经常使用氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（AR）、
