等离子表面处理机台阶高度对多晶硅栅极蚀刻的影响： 除了等离子表面处理机蚀刻本身对多晶硅栅尺寸的影响外，达因值大表面张力大吗浅沟槽隔离带来的表面形貌起伏(Topography) 也对多晶硅栅尺寸具有明显的影响。(浅沟槽隔离的台阶高度表征了多晶硅生长前的晶片表面形貌。由于炉管多晶硅的平坦化生长，正的台阶
