等离子清洗机通入氧气应用实例： 清洗/活化/刻蚀：例如，氧等离子体去除表面在进行清洗时，工作气体用氧气，它被加速了的电子轰击成氧离子、自由基后，氧化性极强。真空等离子状态下的氧等离子呈现淡蓝色，部分放电条件下类似白色。放电环境光线比较亮，肉眼观察时可能会出现看不到真空腔体内有放电的情况。 最后, 等
