氧气等离子清洗机可以将真空蒸镀形成的金岛膜表面存在的大部分非晶碳杂质除去；清洗后的基底可以较好地保留对其它分子SERS活性；清洗后SERS信号衰减较少。因此，氧气等离子清洗氧气等离子体清洗是金岛膜表面除杂的有效途径。。等离子清洗机在不同作用下的清洗特点：等离子清洗机在不同作用下，其清洗特点也有所不同
