真空等离子清洗机常用的流量控制范围通常为 0 到 50 SCCM 到 0 到 500 SCCM。等离子清洗机还使用具有 0 到 1 SLM 规格的质量流量控制器。等离子清洗引入各种工艺气体。为保证输入气体的稳定性和测量，电镀层附着力大小建议选择相应的气体专用质量流量控制器。不同的工艺气体具有不同的分
