等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性质的具体应用：等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，氧化镁的亲水性用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破
