因此,端子plasma表面改性本装置设备成本不高,清洗过程无需使用昂贵的有机溶剂,使得整体成本低于传统湿法清洗工艺;七、使用等离子清洗,要避免清洗液的运输、储存、排放等处理措施,因此生产现场易于保持清洁;八、等离子清洗不能它可以处理多种材料,无论是金属、半导体、氧化物,还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯