这些反应性粒子可以与表面材料发生反应并刺激分子清洁活化的表面。等离子体产生的原理如下。对电极组施加高频电压(几十兆赫左右的频率)，环氧树脂附着力改善的原因高频区域的气体在交变电场的影响下进行交换。在电极之间形成电场以产生等离子体。活性等离子体对被清洗物表面产生物理冲击和化学反应，被清洗物表面物质变成
