广东芳如达科技有限公司 2022-12-28 14:44:08 125 阅读
这些反应性粒子可以与表面材料发生反应并刺激分子清洁活化的表面。等离子体产生的原理如下。对电极组施加高频电压(几十兆赫左右的频率),环氧树脂附着力改善的原因高频区域的气体在交变电场的影响下进行交换。在电极之间形成电场以产生等离子体。活性等离子体对被清洗物表面产生物理冲击和化学反应,被清洗物表面物质变成颗粒和气态物质,通过真空排出,达到清洗目的。
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等离子清洗去除光刻胶原理在清洗光刻胶的过程中清洗速率主要取决于活性氧原子,树脂附着力的原理氧原子主要是通过电荷之间的转换和再结合产生的如方程1所示Ar++O2→Ar+O2+O2++e-→O+O*产生的氧原子运动到硅片表面与光刻胶发生反应。
等离子清洗机连接真空泵,树脂附着力的原理使清洗室中的等离子体轻轻擦拭被清洗物体的表面。较短的清洗时间可使有机污染物彻底清洗干净,通过真空泵将污染物抽走,清洗程度达到分子水平。真空等离子清洗机、大气等离子处理器、宽量程等离子清洗机有好几个名称,又称低温等离子处理器。
环氧树脂附着力改善的原因
二、在崇尚绿色环保的今天,使用大气大气等离子清洗设备也可以有用的防止有害污染物的残留,并且在清洗的时候不需要使用三氯乙烷这样的有害溶剂,完成真正的绿色清洗,这是越来越重视环境保护的今天至关重要。
中频n40kHz,属于工作频率,是中频电源的常用频率类型,用于真空系统等离子清洗机的大腔体。它具有低温等离子体的高能量。然而,冷等离子体的密度相对较低。通常为 5kW 到 20kW。射频电源:工作频率13.56Mhz,输出功率0-600瓦可调,是一款全智能真空系统电容匹配装置。它也可以与中频电源组合使用。工作频率40KHz,输出功率0-5kW,可调。 13.56MHz,又称射频电源。
而说到微波等离子清洗机放电,这种清洗没有自偏压,离子浓度高,离子能量低,主要有两种方式,即表面波型和电子回旋共振型,前者一般用于商业清洗,是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿实现放电,其中并没有离子的加速作用,其电子密度较高,但通常要求放电气压高,从而会引起等离子体局域化比较严重的情况,不利于纵深清洗和多层面的大尺度的清洗处理,此外,微波等离子清洗机也不适合对一些精密的电子元器件进行处理。。
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树脂附着力的原理
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