随着微电子行业的快速发展，极耳等离子清洗机等离子清洗机越来越多地应用于半导体行业。等离子清洗机在倒装芯片封装中的作用伴随着倒装芯片封装技术的出现。干式等离子清洗是对倒装芯片封装的补充，是提高其产量的重要帮助。通过等离子清洗机对芯片和封装载体进行处理，不仅获得了超洁净的焊接表面，而且焊接表面的活性也大
