一些非粘性无机气体(Ar2、N2、H2、O2等)在高频和低压下被激发，喷漆附着力检测工具产生含有离子、被激发分子、自由基等多种活性粒子。一般在等离子体清洗中，活化气体可分为两类，一类是惰性气体等离子体(如Ar2、N2等);另一类是反应性气体等离子体(如O2、H2等)。。低压蒸气辉光等离子体主要用于电
