等离子体表面处理的机理主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。就反应机理而言，无机富锌底漆附着力等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发成等离子体态；气相物质吸附在固体表面；吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；产物分子分解形成气相；反应残留物与表面分离。低压蒸气辉光等离子
