2)硅等离子体脱胶/脱胶案例硅晶片放置在真空反应系统,通过少量的氧气,1500 v高压、高频信号发生器产生高频信号,所以石英管形成一个强大的电磁场,因此氧化电离形成等离子体辉光各种混合物的列。活性氧将聚酰亚胺薄膜迅速氧化成一种挥发性气体，碳布亲水性怎么看然后用机械泵将气体抽离，从而将聚酰亚胺从硅片上
