稳定性和低附着力，亲水性的材料湿润角多少度仅对厚度变化敏感，窄波长和角度等有效。 1）由金属镍纳米颗粒保护，ECR等离子蚀刻后光滑。玻璃表面可形成山状结构，分布是均匀的，大小约为80-140 NM。 2）ECR等离子刻蚀后产生的峰状结构特别在偏置条件下，蚀刻后的最大透光率可达94.4%。 3）蚀刻产
