然而，金属铬是如何提高附着力的由于常规等离子体渗氮过程中会产生异常辉光放电，放电参数之间存在相关性和耦合性，通过改变单个放电参数无法控制渗氮过程。为了解决这个问题，研究人员开发了低压等离子体，这种等离子体在低于10PA的压力下不会产生异常辉光放电。在射频下，热灯丝产生一系列低压等离子体，填充整个加工
