改变ITO的表面特性可以影响OLED的性能。等离子体清洗技术的作用通常是改变表面粗糙度，腻子粉附着力差怎么补救提高功函数，ITO玻璃表面可以被等离子体活化。等离子体处理设备通常采用等离子体清洗技术，将衬底放置在底座上，在真空系统中引入不同的混合气体，通过金属电极上的射频电压将气体电离形成等离子体，以
