当压力小于 帕时，指甲附着力变差气体被电场部分电离，这种等离子体有一些显著的特征： 1） 气体产生辉光现象，常称为“辉光放电”。由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响； 2）气体中包含中性粒子、离子和电子。由于中性粒子和离子温度介于102—1
