实验结果表明，拉拔式附着力实验大气等离子体处理过程中考虑了时间、功率、气体流量、氧含量、氦流量和喷嘴高度等参数，导致膜的表面形貌变化明显，化学结构变化较小。腐蚀率厚度和溶出度随时间逐渐增大，达到最大值后逐渐减小。当氧含量比一定时，腐蚀速率随着氦/氧混合流量的增加而增加。随着氦流量的增加，腐蚀先增大后
