活性氧（活性原子氧）将聚酰亚胺薄膜迅速氧化成挥发性气体，常见的薄膜附着力测量方法通过机械泵抽出，去除硅片上的聚酰亚胺薄膜。低温等离子表面处理机等离子脱胶的优点是脱胶操作方便、脱胶效率高、表面清洁光滑、无划痕、成本低、环保。介电等离子体蚀刻设备通常使用电容耦合等离子体平行板反应器。在并联电极反应器中，
