低温等离子体电源功率整流器不需要VCC来供给电路转换所需的瞬态电流，自动感应耦合等离子体刻蚀机电容相当于一小块电源。因此，电源和地端的寄生电感都被绕道掉了，在这一段时间内，寄生电感没有电流流过，因此也不存在感应电压。通常将两个或多个电容平行放置，以减小电容本身的串联电感，从而降低电容充放电回路的阻抗
