本文分析了大气等离子体发生器在半导体行业的应用，表面改性物质有哪些化学性质并通过管座等离子体清洗前后的接触角实验和剪切球实验表明，大气等离子体发生器可以有效清掉物料外表面的各种杂物，增进物料外表面的润湿性和键合强度，为了增进半导体产品的可靠性。。等离子清洗机可用于去除表面上的残留粘合剂。细线间残留干
