人工等离子体的温度大约为103 ～108 K，微波等离子清洗系统电子数密度约为108 ～1021／厘米3 ，电流为毫安～兆安数量级，气体压力为百帕～百千帕，放电频率从直流到微波，这些参量决定了等离子体的不同应用。主要有高温等离子体应用、热等离子体应用、冷等离子体应用三大类。。非热平衡等离子体中向平衡
