电源功率和频率对等离子体清洗效果的影响电源的功率对等离子体参数如电极温度、等离子体产生的自偏置电压和清洗效率等有影响。随着输出功率的增加，广东真空等离子体处理机价格等离子体清洗速度逐渐增加并稳定在一个峰值，而自偏压随输出功率的增加而增加；继续上升。由于功率范围基本不变，频率是影响等离子体自偏压的关键
