选用数控技术，湿法刻蚀和干法刻蚀的区别 光刻自动化程度高；具有高精度控制装置，时间控制精度高。等离子清洗机不会对表面造成损伤，保证表面质量；因为是真空清洗，所以不会对环境造成二次污染，保证清洗面不会二次污染。等离子体等离子体清洗过程是一个干法过程。与湿法相比，它有许多优点，这是由等离子体本身的性质决
