等离子清洗机又称等离子蚀刻机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理设备广泛用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆剥离、等离子镀膜、等离子灰化、等离子活化、等离子表面处理等。同时去除有机污染物、油或油脂。等离子等离子清洁剂可以在表面处理化学、表面清洁
