等离子清洗机是干法清洗可控性强，干法刻蚀机器一致性好，不仅能去除光阻有机物，还能活化和粗化晶圆表面，提高晶圆表面的侵入性，等离子清洗机可应用于半导体、微纳电子、MEMS、PCB、光学、光学制造、汽车电子、医疗电子、生命科学、食品工业等领域，可对各种材料表面进行有机物去除、清洗、化学改性或涂层沉积等。
