主要电气控制部分包括：真空泵、射频电源、真空表、定时器、浮子流量计、绿色电源指示器、蜂鸣器、电源调节器、放空按钮（自锁）、气体一键（自锁）、气体两键（自锁）、高频电源按钮（自锁）、真空泵按钮（自锁）、主电源旋钮开关。。等离子体发生器可使操作人员远离有害溶剂对人体的危害：绝大多数真空泵低温等离子体发生
