其机理主要是通过等离子体中活性粒子的“活化”作用到达去除材料机体表面着色的意图一般包括无机气体被激发成等离子体状态、气相物质吸附在固体表面、吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子、产物分子分解形成气相、反应残留物从表面分离等过程。腐蚀气体的等离子体具有良好的各向异性，高亲水性聚氨酯能满足刻蚀的需要。
