惯例是5千瓦至20千瓦。激起频率为13.56MHz的等离子体为射频等离子体，密度不一样附着力就不一样其产生的反响既有物理反响又有化学反响；Z常用的电源，特点是等离子能量低，可是等离子密度高。效果均匀，而本钱稍高。惯例是 瓦至 0瓦。 ..例如，附着力就是粘结强度吗当带正电的球体置于等离子体中时，等离
