与化学反应,该材料具有良好的兼容性和不容易产生金属污染和粒子,等选择国内泵,真空泵是选择的还是进口的,干泵或油泵,是一个单级泵,或双泵、各类真空泵可以选择根据客户的实际需求,这里不会做太多冗余。气体通道的选择常见的真空等离子清洗机是两个气体通道,但这是不满意所有的处理需求,如果需求更多的反应气体,然
