当油浑浊(油色变为灰褐色或油位窗不清)，孕妇可用亲水性人工辅料真空泵噪音异常时，及时更换真空油。清洗反应室:先用脱脂棉布蘸无水乙醇(俗称酒精)擦拭真空室(不要用乙醇擦拭反应室观察玻璃)。其次，将气体(氩气+氧气或氮气+氧气)引入腔内，与等离子体反应去除腔内残留物质。处理时间应在10分钟左右，至少每月
