怀疑同步脉冲等离子体可以通过降低电子温度来减少对栅极介电层的损坏，金属油漆附着力好吗而不会在角落留下任何多晶硅。针对这些挑战，业界开发了一种在去除伪栅极后沉积高 k 栅极介电层的工艺，先蚀刻部分伪栅极，然后对其余部分进行等离子体化处理。一种有效避免损坏栅极的化学溶剂由于蚀刻的介电层。。如果集成电路芯
