利用氧等离子体表面处理，国产等离子表面处理仪报价使PDMS与带有钝化层的硅片在室温常压下可以成功键合。在利用氧等离子体改性处理实现PDMS与其它基片键合的技术中，一般认为，在进行氧等离子体表面改性后，应立即将PDMS基片与盖片贴合，否则PDMS表面将很快恢复疏水性，从而导致键合失效，因此可操作工艺时
1）电晕脱胶反应机理：氧气是干式电晕脱胶技术中的首要腐蚀气体。真空电晕脱胶机反应室在高频和微波能量作用下，国产电晕电晕处理机厂家电离生成氧离子、自由氧原子O*、氧分子和电子的电晕，其间氧化能力强的自由氧原子（约10-20%）在高频电压作用下与光刻胶膜发生反应:O2-Rarr；O*+O*，CxHy+O