此外,降低物体表面的附着力英文低偏置/源功率比也改善了第二边缘现象。这是因为偏压功率主要控制等离子体中的离子加速度,源功率控制等离子体浓度,低偏压功率控制等离子体中的离子加速度。设定的功率可以降低离子的冲击能量,大的源功率增加了大气等离子清洗机的等离子密度,增加了离子本身之间的碰撞率,削弱了等离子的