其关键工序是：首先将清洗工件送入真空室固定，电晕处理机结构图片真空泵等设备开始抽真空排气至10Pa左右；然后，低温电晕清洗所用的混合气体（根据清洗材料不同，选用的混合气体也不同，如O2、H2、Ar、N2等），压力始终保持在100帕左右；真空窒息时在电极片与保护地之间施加高频电压，使混合气体分解，通过
