至于工作气体，达因值和温度有关吗它也经历了一个入射到壁和再释放回等离子体的过程，俗称气体循环。等离子体-表面相互作用的研究可分为两个方面。理论工作集中于对过程的理解。如溅射、鼓泡、单极弧、气循环、边界层等现象建立相应的物理模型，并尝试给出物理参数之间的定量关系。实验工作可进一步分为两类。首先考虑正离
