半导体等离子清洗设备为何采用铝合金腔体比较多：半导体等离子清洗设备常用的材料有石英玻璃、不锈钢和铝合金等，真空等离子清洗机哪里买不同行业和应用领域的选择会有所不同。在半导体行业，大多数半导体等离子清洗设备都使用铝合金，原因何在？半导体工业用的等离子清洗设备清洗、刻蚀过程中对真空反应腔材料的选择比较讲
