等离子体火焰处理器在小孔清洗中的应用随着HD板孔径的小型化，湿法刻蚀设备工程师传统的化学清洗工艺已不能满足盲孔结构的清洗，液体的表面张力使得药液难以渗入孔内，特别是在处理激光打孔微盲孔板时，可靠性差，目前微孔清洗主要采用的清洗技术有超生波清洗和等离子清洗。超声波清洗主要根据空化效应达到清洗目的，属于
