低频电流量称为交流电压每秒1000次，憎水性材料变亲水性高频电流量称为交流电压10000次以上。射频就是这种高频电流。这使得区分这两种设备变得容易。。将气体转化为高反应性气体等离子体 在一定的真空负压下，气体通过电能转化为高反应性气体等离子体。气体等离子体温和地清洁固体样品的表面，导致其分子结构发生
